IT之家 2024年08月25日
新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重复定位精度 0.02mm
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新松公司自主攻克新一代真空机械手技术,并展出多种机器人产品。真空机械手是芯片制造关键设备,新松产品性能优越且提高了传输效率。此外,还展示了双臂具身智能抓取站等相关产品。

🧐新松Centaur真空机械手是芯片制造中晶圆传输的关键设备,其重复定位精度高达0.02mm,相当于头发丝直径的1/5。该机械手采用双独立设计,两只手臂可独立工作,大幅提升传输效率,能胜任不同尺寸晶圆搬运,且具备领先的功能。

🤖新松公司展出双臂具身智能抓取站,这是一种具有先进功能的机器人设备,能够实现高效、精准的抓取操作,在工业生产等领域具有广泛的应用前景。

👀新松公司展示的工业机器人3D视觉免示教系统,通过先进的视觉技术,使工业机器人能够更加智能地进行操作,无需繁琐的示教过程,提高了生产效率和精度。

🚜新松公司的特种机器人产品具有独特的性能和应用场景,能够满足特殊环境和任务的需求,展现了公司在机器人领域的多元化发展和创新能力。

IT之家 8 月 25 日消息,8 月 21 日~25 日,2024 世界机器人大会在北京举行,169 家企业展出 600 余件创新产品。

据介绍,真空机械手是芯片制造过程中,负责不同工位之间晶圆传输的关键设备,在尖端工艺制程中重复定位精度要求达到了 0.02mm,相当于一根头发丝直径的 1/5,该设备长期被国外企业垄断,是名副其实的“卡脖子”技术

▲ 新松 Centaur 真空机械手

新松公司自主攻克新一代真空机械手技术,并实现在中国最先进芯片制造工厂的批量应用。

新松 Centaur 真空机械手拥有领先的重复定位精度、碰撞保护以及 AWC 智能动态纠偏等功能,机械手采用双独立设计,两只手臂不受彼此影响独立进行取放片工作,相比传统机械手的传输效率大幅提升,可胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。

▲ 双臂具身智能抓取站

IT之家注意到,新松公司还展出了双臂具身智能抓取站、工业机器人 3D 视觉免示教系统、特种机器人等相关机器人产品 / 系统。

▲ 工业机器人 3D 视觉免示教系统

▲ 特种机器人产品

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