在第八届进博会上,荷兰ASML公司展出了两款新型光刻机TWINSCAN XT:260和TWINSCAN NXT:870B,但它们并非用于芯片生产,而是专注于3D封装等先进封装领域。XT:260是一款i线光刻机,分辨率不高于400nm,每小时可处理270片300mm晶圆,生产效率是同类产品的四倍。NXT:870B则是一款更先进的KrF光刻机,波长248nm,分辨率提升至110nm,每小时产量可达400片。ASML此举显示了其在先进封装领域寻求新增长点的战略,尽管这些封装光刻机的价格不及高端芯片光刻机,但其巨大的市场需求和发展潜力不容忽视。对于国内厂商而言,在无法获得ASML的EUV光刻机的情况下,ASML在封装光刻机市场的拓展提供了新的合作机会。
💡 ASML在第八届进博会上展出的TWINSCAN XT:260和TWINSCAN NXT:870B光刻机,并非用于传统的芯片制造,而是专注于3D封装等先进封装领域,标志着ASML在业务拓展上的新方向。
🚀 TWINSCAN XT:260作为一款i线光刻机,采用365nm光源,分辨率不高于400nm,每小时可处理270片300mm晶圆,且能处理厚达1.7mm的晶圆,其生产效率是同类产品(如佳能FPA-5520iV)的四倍。
🌟 TWINSCAN NXT:870B是更先进的KrF光刻机,波长为248nm,分辨率提升至不高于110nm,NA为0.8,每小时晶圆产量高达400片,展现了更高的生产效率。
📈 ASML此举显示了其对先进封装市场潜力的重视,该市场虽然设备单价相对较低,但需求量大,发展前景广阔,是ASML寻求新增长点的战略布局。
🤝 对于国内厂商而言,在获取高端EUV光刻机受限的情况下,ASML在封装光刻机市场的积极布局,为国内相关产业提供了新的技术引进和合作可能。
在日前的第八届进博会上,荷兰ASML公司在国内展示了两款新型光刻机TWINSCAN XT:260及TWINSCAN NXT:870B。但是这两款光刻机不是用于大家平常接触的那种场合,不是用于芯片光刻生产的,而是用于3D封装等先进封装领域的。
了解国内光刻机产业的网友可能明白了,现在不是上微电子去抢ASML的DUV/EUV光刻机生意,而是ASML来抢国内公司的封装光刻机生意了。
TWINSCAN XT:260、TWINSCAN NXT:870B是一款i线光刻机,光源用的是365nm的,扫描曝光,分辨率不高于400nm,NA 0.35,每小时晶圆产量可达270片,可以处理最高1.7mm厚度的300mm晶圆,而非通常的775um厚度晶圆。
ASML表示,该款光刻机与佳能FPA-5520iV等型号相比,生产效率是其4倍水平。

至于TWINSCAN NXT:870B,它是更先进的KrF光刻机,波长248nm,分辨率提升到了不高于110nm,NA 0.8,每小时晶圆产量提升到了400片,生产效率更高。

从ASML此举可以看出,高端光刻机固然重要,但是随着先进封装成为AI芯片的关键一环之后,ASML也在寻求新的发展点,将封装光刻机也纳入市场推广范围,这种光刻机虽然不至于动不动两三亿美元一台,但用量很大,发展前景并不差。
同时对国内来说,ASML的EUV光刻机由于都懂的原因是没法卖的,但封装光刻机的精度不再限制之内,ASML是有意扩展这个市场。
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