韭研公社 11月07日 09:50
混合键合技术助力3D NAND存储升级
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文章介绍了混合键合技术在3D NAND存储升级中的应用,通过垂直堆叠多层晶圆来提高存储密度,并通过拆分建造提高生产效率和良率。


混合键合技术是存储,尤其是3D NAND存储技术持续迭代升级而催生的。 之前说过,3D NAND存储生产的过程,像是建造一座“摩天大楼”,通过在垂直方向堆叠上百层来极大地增加存储密度,而随着层数增加,对工艺的要求越来越高,产品良率和生产效率也在急剧下降,所以工程师就想出一个好办法——拆分建造,比如要生产一个256层的NAND,就先分别制造两个128层的晶圆,然后再把它们面对面地键合在一起,形成一个整体,这样不仅提高了生产效率,还大幅提升了良率。 而这种工艺最关键之处就在于键合技术。 目前最新的键

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