
混合键合技术是存储,尤其是3D NAND存储技术持续迭代升级而催生的。 之前说过,3D NAND存储生产的过程,像是建造一座“摩天大楼”,通过在垂直方向堆叠上百层来极大地增加存储密度,而随着层数增加,对工艺的要求越来越高,产品良率和生产效率也在急剧下降,所以工程师就想出一个好办法——拆分建造,比如要生产一个256层的NAND,就先分别制造两个128层的晶圆,然后再把它们面对面地键合在一起,形成一个整体,这样不仅提高了生产效率,还大幅提升了良率。 而这种工艺最关键之处就在于键合技术。 目前最新的键
