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陕西建成西北首条8英寸硅光中试线,助力光子产业发展
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陕西光电子先导院成功打通了西北地区首条8英寸硅光中试线,标志着该区域在硅光芯片中试领域实现了零的突破。该平台是陕西“追光计划”的重要成果,将有力支撑当地光子产业向千亿级集群迈进。同时,陕西光子科技实验室也进入培育建设期,目标是两年内攻克多项关键技术,推动全省光子产业产值在2027年突破500亿元。自2021年“追光计划”启动以来,陕西光子产业规模已显著增长,初步形成了完整的产业链条。这条总投资7.5亿元的8英寸硅光平台,引进了先进工艺和核心设备,将有效解决国内硅光产业在中试环节面临的“工艺不稳定、成本不可控、可靠性不达标”等痛点,缩短企业研发周期,降低运营成本,并与其他先进设施联动,为产业发展提供全链条支撑。

🚀 **首条8英寸硅光中试线通线,填补区域空白**:陕西光电子先导院建成西北地区首条8英寸硅光中试线,总投资7.5亿元,填补了区域在硅光芯片中试领域的空白。该平台采用比利时IMEC的130nm硅光芯片工艺包,并引入了60余台(套)关键核心设备,能够开发90nm以上先进工艺,为硅光技术突破和应用落地提供关键支撑。

💡 **“追光计划”核心支点,驱动产业集群发展**:该中试线的建成是陕西“追光计划”实施以来的标志性成果,将作为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点,撬动当地光子产业从蓝图走向实践。陕西光子科技实验室也进入建设期,目标是在两年内攻克超30项光子领域关键核心技术,助力全省光子产业产值在2027年突破500亿元。

📈 **产业规模显著增长,产业链条日趋完善**:自2021年“追光计划”启动以来,陕西全省光子产业企业数量已增至370多家,产业规模从150亿元跃升至365亿元,初步构建起“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链条。此次8英寸硅光平台的通线,将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动,提供从基础研究到量产落地的全链条支撑。

🌐 **解决中试“堵点”,便利企业研发与降本增效**:硅光技术作为前沿领域的核心支撑,其产业发展长期受限于中试资源。国内企业依托国外平台流片费用高昂且周期长,自建产线投入巨大。陕西光电子先导院的中试平台集工艺开发、原型试制、性能测试、可靠性验证、成本核算于一体,平均流片周期仅需两周到一个月,显著便利企业技术转化,降低研发及运营成本,并有望带动上下游企业集聚形成百亿级产业生态圈。

🌍 **多地硅光产业加速发展,形成协同推进格局**:除了陕西,上海、武汉、重庆等地今年以来硅光产业也迎来重要发展节点,纷纷启动建设相关平台和产业集聚区。各地结合自身经济结构发展特色,在基金支持、平台建设、产业链协同等方面形成差异化优势,共同推动中国硅光市场协同并进的成长进程。


《科创板日报》11月5日讯(记者 郭辉)11月4日,西北地区首条8英寸硅光中试线正式通线。

《科创板日报》记者了解到,该平台由陕西光电子先导院建设,此次通线不仅填补了区域硅光芯片中试领域空白,更成为陕西“追光计划”实施以来的标志性成果,将作为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点,撬动当地光子产业发展从蓝图迈向实践。

与此同时,陕西光子科技实验室也在今年8月顺利通过现场评估及专家论证,正式进入培育建设期。据中国科学院西安光机所副所长付玉喜在活动当中透露,该实验室目标两年内攻克超30项光子领域关键核心技术,助推陕西全省光子产业产值在2027年突破500亿元。

自 2021年陕西“追光计划”启动以来,陕西全省光子产业实现显著成长,行业企业数量攀升至370多家,产业规模从150亿元跃升至 365 亿元,初步构建起“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链条。

陕西是我国近年来硅光产业发展的重要一极,实际上自今年以来,包括湖北、上海、重庆等多地,硅光产业发展均迎来重要发展节点。

总投资7.5亿 西北地区首条8英寸硅光中试线

“8 英寸硅光平台的通线,彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板”。陕西光电子先导院总经理杨军红表示,作为陕西“追光计划”的核心支撑平台,光电子先导院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台。

据了解,光子技术产业界主要沿着化合物半导体和硅光技术两条技术路径协同演进,二者在材料特性、应用场景和产业生态上形成互补,共同推动光电子产业向高性能、高集成度、低功耗方向发展。

此前陕西光电子先导院的6英寸化合物中试平台,至今服务了超过50家企业。此次8英寸硅光平台通线,将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动,为“追光计划”培育千亿级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。

据介绍,光电子先导院的8英寸硅光平台总投资7.5亿元,引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”,并引入光刻、刻蚀等60余台(套)关键核心设备,在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,能够开发90nm以上先进工艺。

硅光技术作为AI算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑,正处于技术突破与应用落地的关键期,但其产业发展长期受限于中试资源集中的困境。

据Yole数据,约80%的光子技术停留在实验室阶段,无法实现量产,核心原因在于“工艺不稳定、成本不可控、可靠性不达标”。对国内产业而言这一“堵点”矛盾更加突出。

杨军红介绍称,全球硅光中试资源多掌握在欧美企业手中,国内企业依托国外平台流片需支付高昂费用,且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题,而自建产线则需巨额设备投入。

中试平台集“工艺开发、原型试制、性能测试、可靠性验证、成本核算”于一体,将极大便利企业技术从实验室到产业落地的进程,降低企业研发及运营成本。

杨军红接受《科创板日报》记者采访时表示,目前陕西光电子先导院平均流片周期只有两周到一个月左右的时间,快于量产线以及国内同类的中试线。

在陕西省8英寸先进硅光集成技术平台通线后,《科创板日报》记者了解到,由陕西光电子先导院牵头的异质集成工艺平台,也即将于2026年完成硬件建设,而异构集成工艺平台则计划将于2028年完成硬件建设。

“异质+异构”的工艺平台建设,将进一步扩宽不同功能光芯片的生产能力,服务更多优质创新企业。与此同时,也将帮助陕西省在全国多地的硅光产业发展中,形成差异化的技术能力。

年内多地硅光产业迎来发展关键节点

今年国内多地硅光产业发展迎来关键节点。

在上海,上海硅光未来产业集聚区“光启天地”在浦东新区正式启动建设,将搭建硅光概念验证平台,培育产业创新生态,加速硅光规模化应用。

据介绍,该平台基于“8吋+ 12吋”硅光流片平台开展芯片流片设计服务,可提供定制化服务和IP授权,还搭建了EDA仿真验平台,打造一站式硅光测试验证体系。上海硅基光电子概念验证平台具有技术验证、市场验证和协同孵化三大功能。在技术验证方面,平台将建立开放的硅光芯片制造和测试技术体系,全方位支持硅光创新技术的开发、迭代和成熟,

硅光已被列为上海11个重点未来产业之一。在今年10月上海市政府印发的《关于加快推动前沿技术创新与未来产业培育的若干措施》,目标到2027年,上海将力争突破一批前沿颠覆性技术,同时要加快培育硅光、6G、第四代半导体、类脑智能等领域,重点支持优化产品设计、拓展应用场景、验证市场价值。

今年9月,武汉国家信息光电子创新中心宣布成功发布首套全国产化12寸硅光全流程套件,将能够帮助相关上下游企业实现“设计即测试、测试完成即封装”,大幅缩短研发周期,降低制造成本,相应套件性能达到量产要求。据介绍,目前国内已有超40家企业、高校、机构与该中心沟通合作,其中十余家进入实质性合作阶段。

按照湖北省政府在2023年发布的关于印发加快“世界光谷”建设行动计划,在2025年完成12英寸基础硅光流片工艺开发,形成国际领先的硅光晶圆代工和生产制造能力后,到2030年,目标进一步打造12英寸硅基光电融合工艺线,建成全球前三的硅光芯片特色工艺线。

在2024年,湖北省光谷光电子信息产业规模已突破6000亿元。

在重庆,位于重庆数智产业园的光电子集成高端硅基晶圆制造中心项目在今年4月封顶。该项目由光域科技公司投资建设,总投资8.5亿元,设计月产能为3500片高端硅基晶圆,预计2025年底投产,将极大突破光域科技产能瓶颈,对缩短新产品研发周期、提高产品利润率及加速产业链上下游协调等方面均具有重要意义,同时也将为成渝地区双城经济圈建设注入强劲科技动能。项目达产后,预计带动上下游配套企业集聚形成百亿级产业生态圈。

陕西省目前已形成光子材料与芯片、先进激光与光子制造、光子传感三大核心产业集群,聚集379家光子领域硬科技企业,总产值超过350亿元。

“光子产业处于创新式加速发展的前期,中国的硅光市场也足够大,各地的光子产业结合当地经济结构均有自身特色,因此目前处于协同并进的成长进程当中。”陕西光电子先导院总经理杨军红表示,陕西光子产业发展的突出模式,一是有围绕产业进行创新培育的完善基金矩阵,二是以光电子先导院为链主、纽带,推动光子产业链上中下游协同发展、融通创新。

据了解,光电子先导院由中国科学院西安光机所联合陕西省科技厅、西安市高新技术开发区、西科控股、中科创星共同发起成立,创新性地提出并打造了“公共平台+专项基金+专业服务”的光电子芯片创新服务生态。

陕西省今年新成立的科创母基金,也进一步聚焦硅光产业。今年7月,陕西秦创原公司揭牌,首期100亿元规模的省级科创母基金、首期300亿元基金矩阵发布,标志着陕西科技金融赋能“三项改革”全面启动。其中的直投基金将聚焦光子强链、集成电路、高端设备等领域。据介绍,秦创原公司目标到2027年底,形成千亿级科创基金矩阵,提供千亿级金融产品供给,培育千亿级战新产业集群。

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