芯片说 IC TIME 10月21日 00:30
国内厂商误拆DUV曝光机,ASML维修受阻
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近日,国内一家芯片制造商在生产过程中损坏了其DUV曝光机,并向ASML寻求维修。ASML技术人员到场后发现,机器是因客户自行拆解和重组不当而损坏。尽管存在维修协议,但因客户的“不当行为”导致设备故障,ASML能否进行正常维修尚不确定。此前,受美国压力,ASML已被禁止向中国出售先进EUV设备,并逐步收紧对DUV设备的供应限制。此事件再次凸显了先进半导体设备维护的复杂性与国际限制带来的挑战。

🧰 客户自行拆解导致DUV曝光机损坏:事件核心在于国内某厂商在未授权情况下自行拆解了ASML的DUV曝光机,并在重新组装过程中导致设备损坏,而非设备本身的正常故障。

🔧 ASML维修受阻,协议履行存疑:ASML技术人员确认设备损坏原因后,因客户的“不当行为”,其维修协议的正常履行变得复杂,ASML可能因此拒绝提供维修服务。

🌐 国际限制背景下的设备维护挑战:在美方施压下,ASML对华出口先进EUV设备受限,DUV设备供应也逐步收紧。此次事件发生在这一背景下,进一步凸显了中国半导体产业在获取和维护先进设备方面面临的挑战。

💡 强调合规与专业维护的重要性:该事件警示企业,在操作高精密、高价值的半导体生产设备时,必须严格遵守操作规程,并依赖原厂的专业技术支持和维修,任何未经授权的擅自操作都可能带来严重后果。

2025-10-20 17:18 中国香港

近日市场传出,国内某厂商用于生产芯片的DUV(深紫外光)曝光机坏了,紧急打电话向荷商艾司摩尔(ASML)寻求协助维修,经技术人员检查却发现,是自己拆坏。 

当艾司摩尔的技术人员到现场检查后发现,有人试图拆解这家公司的机器、重新组装,并在组装的过程中将机器弄坏了。 目前不清楚艾司摩尔是否真的完成维修,虽然与这家荷兰公司有签订维修协议,但考虑到客户的「不当行为」导致机器故障,因此无法想像这份合约是否会正常履行。

在美方施压下,艾司摩尔被禁止向中国出售最先进的EUV(极紫外光)设备,并逐步收紧对DUV的供应限制。

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