- 张江高科（600895）：上海微电子第一大股东，是国内唯一光刻机整机研发的核心资本载体，深度绑定上海微电子的技术平台，直接受益于整机量产进程。 2. 奥普光电（002338）：背靠中科院长春光机所，承担国家02专项光刻机物镜系统研发任务，自主研发的纳米级光刻机工作台国内市占率超60%。 3. 茂莱光学（688502）：国内超精密光学元件绝对龙头，产品覆盖DUV/EUV光学模组，可提供光刻机物镜系统的透镜、棱镜等核心部件，部分产品已通过ASML认证。 4. 福晶科技（002222）：全球激光
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