Cnbeta 10月04日
台积电实施动态节能管理,降低先进制程能耗
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全球半导体代工巨头台积电正积极推行一项名为“动态节能管理计划”的创新举措,旨在大幅降低其先进制程生产中的能源消耗。该计划已于今年9月在台湾的主要生产基地启动,并计划年内推广至全球所有EUV(极紫外光刻)设备。该方案的核心在于通过智能调节,根据晶圆实际曝光时段灵活分配能耗,例如在设备闲置时降低电力消耗,并结合洁净室内的信息联动及弹性排程,以提升能源使用效率。台积电预计,到2030年此举措将累计节省1.9亿千瓦时电力,并减少约10.1万吨碳排放。虽然具体技术细节尚未公开,但此方案有望扩展至DUV(深紫外)光刻机及其他生产设备,显示了台积电在能源管理上的持续投入和技术创新。

💡 **智能能源调节,精准控制能耗**:台积电推出的“动态节能管理计划”核心在于智能调节,能够根据晶圆的实际曝光时段来灵活分配能源消耗。这意味着在设备非活跃期间,系统能够自动降低电力使用,从而有效避免不必要的能源浪费,提高整体能源利用效率。

🌍 **全球推广与减排目标**:该计划已在台湾的主要生产基地启用,并计划在年内覆盖全球所有EUV设备,未来还将推广至美国亚利桑那州的新厂区。台积电设定了宏伟目标,预计到2030年累计节省1.9亿千瓦时电力,并减少约10.1万吨碳排放,展现了其在环境保护方面的决心。

⚙️ **技术扩展性与未来潜力**:虽然方案初期重点针对EUV系统,但其技术框架有望扩展至DUV光刻机和其他生产设备,意味着其并非仅限于EUV的特定工程改造。这种通用性预示着该智能能源管理方案将在台积电的整个生产体系中发挥重要作用,进一步优化能源使用。

📈 **持续优化能效的挑战与进展**:提高能效一直是先进光刻系统面临的关键挑战,特别是耗电巨大的EUV光刻机。台积电此前已通过内部优化将新一代EUV系统的能耗减少约四分之一,此次动态节能管理计划是其在能效提升道路上的又一重要里程碑,旨在解决庞大电力消耗规模下的持续提升空间问题。

作为全球领先的半导体代工企业,台积电(TSMC)对于先进制程生产能耗的降低举措,正在引领同行追求类似的节能目标。当前,台积电已从其EUV(极紫外光刻)系统挖掘出更多效率,但最新发布的方案标志着公司正向更为实时、智能的能源管理转型。

据报道,台积电于今年9月在台湾的主要生产基地——包括15B、18A、18B厂——正式启用“动态节能管理计划”,重点针对极紫外光刻系统,这类设备向来是半导体生产线中耗电最高的装备。公司预计年内将在全球所有EUV设备推广这一方案,并将在如美国亚利桑那州Fab 21二期等新厂区全面使用。台积电预计,至2030年该系统可累计节省电力达1.9亿千瓦时,同时减少碳排放量约10.1万吨。

虽然具体技术细节尚未公开,但由于该框架有望后续用于DUV(深紫外)光刻机及其他生产设备,意味着其不依赖于EUV的专属工程改造。分析认为,新方案核心应为智能调节装置,用以根据晶圆实际曝光时段灵活分配能耗。例如,设备在闲置期间可实时降低电力消耗,通过洁净室内的信息联动及弹性排程,提升能源使用效率。

提高能效一直是台积电先进光刻系统的重要挑战。EUV光刻机由荷兰ASML制造,是制造最先进的逻辑芯片不可或缺的设备,但运作时消耗巨大的电力。台积电去年曾表示,通过内部重新设计与优化,已将新一代系统的能耗减少约四分之一,主要归功于生产流程自动化及系统协同改进。这些升级举措已让设备峰值功率降低了高达44%,且未影响制程产出、良率或产品质量。

尽管已有可观进步,但台积电庞大的电力消耗规模显示出持续提升空间。据统计,公司2024年用电量达255.5亿千瓦时,其中仅36.1亿来自可再生能源,占据台湾约9%的总用电量。需要注意的是,光刻及制程设备整体用电占不到一半,更多电力被用于厂房冷却、空调以及洁净室运行等配套设施。

通过削减生产设备中的能源浪费,台积电正在减少部分碳足迹,但每年节省的电费(以当前电价折算约新台币2244万元)仅占总电力支出的很小一部分。

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