根据公开信息，张江高科通过其子公司和产业基金，投资了多家芯片半导体公司，覆盖了从设计、制造到设备、材料等多个关键环节。 下面这个表格为你整理了其投资的部分代表性公司。 张江高科投资的芯片半导体公司众多，以下是一些主要企业： 1. 上海微电子装备（集团）股份有限公司：张江高科通过全资子公司张江浩成持有其10.779%股份，投资金额22,345万元。上海微电子是国内光刻机领域的龙头企业，其DUV光刻机已实现量产，EUV技术研发进入关键阶段。 2. 芯朴科技（上海）有限公司：张江高科通过张江燧锋基金出