cnBeta全文版 09月30日
EUV光刻机巨头数量对比:台积电领先,三星紧随
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先进半导体工艺对EUV光刻机需求日益增长,仅ASML公司能供应。文章对比了2021-2025年间主要芯片制造商的EUV光刻机数量。台积电凭借其在先进工艺量产方面的领先地位,累计拥有超过107台EUV光刻机,是唯一一家数量破百的公司。三星紧随其后,累计拥有55台,并将EUV应用于内存芯片。SK海力士和Intel的EUV光刻机数量分别为26台和25台。美光今年购买了5台,总量也仅如此。此外,日本新成立的Rapidus公司已下单EUV光刻机,目标2027年量产2nm工艺,未来需求量值得关注。

💡 **EUV光刻机是先进半导体工艺的关键:** 随着芯片制造工艺向5nm以下推进,EUV光刻机的重要性日益凸显,目前全球仅ASML公司能够提供此类设备,台积电、三星、Intel等巨头对其需求量巨大。

📈 **台积电EUV光刻机数量遥遥领先:** 作为全球最大的晶圆代工厂,台积电在2021-2025年间购买的EUV光刻机数量最多,累计已超过107台,是唯一一家数量过百的公司,显示其在先进工艺上的绝对优势。

🥈 **三星紧随其后,拓展EUV应用:** 三星在EUV光刻机数量上排名第二,累计拥有55台。该公司不仅在逻辑工艺上使用EUV,还在内存芯片制造中逐渐引入EUV技术,是其保持竞争力的重要因素。

🔍 **Intel与SK海力士紧密追赶:** Intel在Intel 4工艺后开始积极应用EUV,并加大了对下一代High NA EUV光刻机的采购,累计拥有25台。SK海力士近年来EUV采购量有所爆发,总计26台,与Intel数量接近。

🚀 **Rapidus展现未来EUV需求潜力:** 日本新成立的Rapidus公司虽然成立时间不长,但已下单EUV光刻机用于研发2nm工艺,目标2027年量产,预示着未来可能成为EUV光刻机的重要买家。

半导体工艺越先进,对光刻机的需求就越高,5nm以下量产更少不了EUV光刻机,目前全球只有ASML公司能供应,台积电、三星、Intel等公司都会向他们下降。那么这些巨头中谁拥有的EUV光刻机最多呢?调研机构BOFA公布了2021到2025年为止的EUV光刻机数量,如下所示:

作为全球最大同时先进工艺量产最多的晶圆代工厂,台积电这几年来购买的EUV光刻机数量是最多的,除了24年只有10台之外,平均每年都在25台左右,累积下来已经超过107台,是唯一一家数量过百的。

三星从7nm时代就号称首发量产EUV工艺,所以购买量也不低,除了今年只有3台,以往每年在10-15台,累积下来55台,位列第二。

三星不仅在逻辑工艺上使用EUV光刻机,内存芯片上也逐渐用上EUV光刻机,这也是关键因素。

SK海力士之前三年订购的EUV都很少,这两年爆发了一波,总计有26台。

Intel公司之前对EUV不慎积极,但在Intel 4工艺之后也开始应用EUV光刻工艺,前任CEO基辛格搞的IDM 2.0甚至加大了对下一代High NA EUV光刻机的购买,全球第一个下单出货,但现在的陈立武叫停了不少工厂建设,今年EUV采购量还是0。

累积下来这几年购买了25台EUV光刻机,比SK海力士还少1台。

美光公司因为主要生产内存和闪存芯片,而且对之前也用不到EUV工艺,今年才买了5台,总量就是这么多了。

这里面还有一家公司值得注意,那就是日本Rapidus,他们成立才2年时间,但野心很大,目标是2027年量产2nm工艺,所以也早早下单了EUV光刻机用于研发,今年就展示过2nm工艺的晶圆,技术进展值得关注。

如果他们的目标实现了,未来Rapidus公司对EUV光刻机的需求量也不少。

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