一：苏大维格与上海微电子的关系 苏大维格与上海微电子的关系以供应链合作为核心，即苏大维格是上海微电子光刻机产品的核心零部件供应商，为其提供用于光刻机精密定位的核心部件部件——定位光栅产品。双方的合作聚焦于供应链环节，联合技术研发或产品共同开发等其他维度。 （苏大维格：其纳米级定位光栅定位误差≤1.5nm，是国内唯一实现该产品量产的企业，已应用于上海微电子28nm浸没式光刻机双工件台系统。此外，苏大维格的玻璃基高精度光栅尺可定制加工有效长度10-200cm无拼接高精度光栅尺，通过光刻设备在玻璃基材