随着半导体工艺的不断进步,尤其是5nm以下先进工艺的量产,对EUV光刻机的需求日益增长。目前,仅ASML公司能够提供EUV光刻机,台积电、三星、Intel等巨头均是其重要客户。BOFA机构发布的2021年至2025年EUV光刻机数量统计显示,台积电以超过107台的保有量位居榜首,是唯一一家数量破百的公司。三星紧随其后,拥有55台,并在逻辑芯片和内存芯片制造中均应用EUV技术。SK海力士和Intel分别拥有26台和25台。值得注意的是,日本新成立的Rapidus公司也已开始布局EUV光刻机,展现出其在先进工艺领域的雄心。
💡 **台积电在EUV光刻机数量上占据绝对优势**:作为全球最大的晶圆代工厂,台积电在先进工艺量产方面需求量最大,预计在2021-2025年间累计拥有超过107台EUV光刻机,是唯一一家数量过百的公司,显示了其在先进制程领域的领先地位。
🚀 **三星在EUV光刻机应用上全面布局**:三星不仅在7nm时代就号称首发量产EUV工艺,并且在逻辑芯片和内存芯片制造中都逐渐引入EUV光刻机,累计拥有55台,位列第二,展现了其在多领域的EUV技术应用能力。
📈 **Intel与SK海力士紧随其后,积极布局未来**:Intel虽然近期EUV采购量为0,但累计拥有25台,并且其新任CEO加大了对下一代High NA EUV光刻机的购买力度。SK海力士近年来EUV光刻机订购量有所爆发,累计拥有26台,两者在先进工艺领域都在积极推进。
🌟 **新兴公司Rapidus展现强劲发展势头**:成立仅两年的日本Rapidus公司,目标是2027年量产2nm工艺,并已提前布局EUV光刻机用于研发。其技术进展和对EUV光刻机的未来需求值得关注,预示着半导体行业竞争格局的潜在变化。
半导体工艺越先进,对光刻机的需求就越高,5nm以下量产更少不了EUV光刻机,目前全球只有ASML公司能供应,台积电、三星、Intel等公司都会向他们下降。那么这些巨头中谁拥有的EUV光刻机最多呢?调研机构BOFA公布了2021到2025年为止的EUV光刻机数量,如下所示:

作为全球最大同时先进工艺量产最多的晶圆代工厂,台积电这几年来购买的EUV光刻机数量是最多的,除了24年只有10台之外,平均每年都在25台左右,累积下来已经超过107台,是唯一一家数量过百的。
三星从7nm时代就号称首发量产EUV工艺,所以购买量也不低,除了今年只有3台,以往每年在10-15台,累积下来55台,位列第二。
三星不仅在逻辑工艺上使用EUV光刻机,内存芯片上也逐渐用上EUV光刻机,这也是关键因素。
SK海力士之前三年订购的EUV都很少,这两年爆发了一波,总计有26台。
Intel公司之前对EUV不慎积极,但在Intel 4工艺之后也开始应用EUV光刻工艺,前任CEO基辛格搞的IDM 2.0甚至加大了对下一代High NA EUV光刻机的购买,全球第一个下单出货,但现在的陈立武叫停了不少工厂建设,今年EUV采购量还是0。
累积下来这几年购买了25台EUV光刻机,比SK海力士还少1台。
美光公司因为主要生产内存和闪存芯片,而且对之前也用不到EUV工艺,今年才买了5台,总量就是这么多了。
这里面还有一家公司值得注意,那就是日本Rapidus,他们成立才2年时间,但野心很大,目标是2027年量产2nm工艺,所以也早早下单了EUV光刻机用于研发,今年就展示过2nm工艺的晶圆,技术进展值得关注。
如果他们的目标实现了,未来Rapidus公司对EUV光刻机的需求量也不少。