🔬 **创新薄膜制备技术：** 国际合作团队开发了间歇性旋涂化学液相沉积方法，能够可控地制备非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜。这项新技术解决了传统方法在薄膜沉积速率和厚度控制上的难题，为高性能材料的制备提供了新的途径。

💡 **光刻技术验证与应用：** 制备出的aZIF薄膜已成功通过电子束光刻和超越极紫外光刻的验证，表明其在先进光刻工艺中具有重要的应用潜力。aZIF薄膜作为先进光刻胶的性能，对于推动半导体制造向更高精度和更小尺寸发展至关重要。

📈 **市场布局与发展前景：** A股市场已有包括上海新阳、南大光电、聚光科技在内的近20家公司布局半导体光刻胶业务。这些公司通过不同形式参与，显示出半导体光刻胶领域的巨大发展潜力和市场前景，也为新材料的应用提供了广阔的商业化空间。

人民财讯9月27日电，据中国化工报，华东理工大学副教授庄黎伟、美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔·萨帕希斯领衔的国际合作团队，提出了一种间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的方法，实现了薄膜沉积速率和厚度的可控，并进行了电子束光刻和超越极紫外光刻验证。相关研究近日发表于《自然—化学工程》。据介绍，近年来，aZIF薄膜被用作先进光刻胶。实现aZIF薄膜的大面积、高精度可控制备，对相关领域的先进光刻工艺具有重要意义。在前期基于超稀释前驱体溶液赋能化学液相沉积法制备aZIF薄膜策略的基础上，研究团队提出了制备aZIF薄膜的新方法。根据公司经营业务以及自身在投资者关系互动平台的披露，A股市场布局半导体光刻胶业务的公司有上海新阳、南大光电、聚光科技等20家，这些公司中既有属于半导体产业链上下游公司，也有公司的子公司或参股公司参与半导体光刻胶业务。