北京科益虹源光电技术有限公司（简称“科益虹源”）成立于2016年7月，注册资本20160万元，是由中科院微电子所控股、涵盖亦庄国投、国科科仪、核心团队等多元化资本构成的国有控股公司，同时也是国家级高新技术企业，承担多项国家02专项重大专项任务与北京市重大项目。 作为中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链条研发和产业化能力的企业，科益虹源实力雄厚。公司拥有230余人的技术及管理团队，团队覆盖光、机、电、控、测、系统、集成等全领域技术开发与生产制造能力；研发生产及办公场地面积约17000㎡，