【半导体设备股反复活跃 长川科技、盛美上海涨超10%创历史新高】财联社9月24日电，半导体设备股反复活跃，长川科技、盛美上海涨超10%，京仪装备、北方华创涨超3%，均创历史新高，芯源微、华海清科、耐科装备等跟涨。消息面上，盛美上海在互动平台表示，9月8日，公司宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。