深度 09月23日
SK keyfoundry发布新型多层厚金属间电介质工艺
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韩国SK keyfoundry宣布推出具备高击穿电压特性的新型多层厚金属间电介质(Thick IMD)电容工艺,支持最多三层堆叠,每层厚度达6微米,预计用于数字隔离用电容器和抑制电容耦合。

【SK keyfoundry推出新型多层厚金属间电介质工艺】财联社9月23日电,韩国8英寸纯晶圆代工厂SK keyfoundry今日宣布推出具备高击穿电压特性的多层厚金属间电介质(Thick IMD)电容工艺。新型多层厚金属间电介质工艺支持堆叠最多三层IMD,每层最大厚度达6微米。该工艺预计将用于制造数字隔离用电容器,以及电子电路中抑制电容耦合的电容器。

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