
一. 半导体制造 半导体制造包含数百道工序,可分为前道(晶圆制造)、后道(封装测试)两大阶段: (1)前道工艺是在晶圆上构建电路结构,主要步骤:晶圆准备→薄膜沉积→光刻与显影→刻蚀→离子注入→抛光→晶圆测试。 (2)后道工艺是将晶圆切割并封装为芯片,主要步骤:晶圆减薄→晶圆切割→固晶贴装→引线键合→封装→终测。 二. 后道环节与设备 2.1 晶圆测试 (1)目的:在晶圆切割前,测试每个裸芯片(Die)的电性能与功能,筛选出合格芯片。 (2)设备:探针台。 (3)全球格局:东京电子、东京精密、Fo
