【戈碧迦】调研最大增量-光刻机 除了实锤半导体玻璃载板量产出货头部厂商之外，光刻机业务是本次调研被忽视的最大增量。 #公司目前正在和上海微合作研发光刻机核心光学模组玻璃，上海微电子是目前中国国内唯一一家能够实现光刻机整机研发与量产的企业，其出货量正稳步增长，并以成熟制程为主力。更先进的28nm浸没式DUV光刻机是当前发展的重点，预计未来占比将显著提升。光刻机中的光学模组价值量约占整机成本的40%左右，它是技术壁垒最高、国产替代最核心的环节之一 。 价值量拆分：光学模组单机占比30-40%，玻璃成