人民财讯9月19日电，英杰电气在互动平台表示，公司在半导体先进制程环节的电源供应主要是在刻蚀和薄膜沉积环节，主要作用是产生和控制等离子体，与光刻机电源的工艺目的和环境差异很大，属于不同种类的电源，目前公司暂无光刻机电源供应。
人民财讯9月19日电，英杰电气在互动平台表示，公司在半导体先进制程环节的电源供应主要是在刻蚀和薄膜沉积环节，主要作用是产生和控制等离子体，与光刻机电源的工艺目的和环境差异很大，属于不同种类的电源，目前公司暂无光刻机电源供应。
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