通过投资聚众科技切入光刻机供应链，首期持股9.09%已完成工商变更，且已锁定约45%股权，后续实现控股。 2025年6月7日，华东重机战略投资了聚众科技，后者起源于国内MEMS传感器龙头西人马，其产品包括用于光刻机的真空腔体传感器、物镜监控传感器等，单价可达100万元以上，且需每半年更换一次，具有耗材属性。 聚众科技的传感器已应用于光刻机的物镜、真空系统等核心环节，并因美欧技术封锁成为国内稀缺替代品。公司称该产品为“国内独家”，目正在开拓北方华创、上海微电子等客户。 聚众科技是国内从事高端传感器