8月12日，调研机构CINNO Research发布了一组引人深思的数据：2025年上半年，中国半导体产业总投资额为4550亿元，同比下滑9.8%。然而，有一个细分赛道却逆势大涨53.4%——半导体设备，它已经成为产业链中唯一正增长的环节。这并非偶然，而是全球科技竞争格局正在重构的真实写照。
如果说制造芯片如同“雕刻宇宙间最微小的雕塑”，那么半导体设备企业，就是幕后提供“刻刀”“显微镜”和“无尘工作台”的军火库与工具大师。再精妙的设计，没有光刻机、刻蚀机这类顶尖装备，一切都无从谈起。正所谓，得设备者得芯片，得芯片者得天下。投资半导体设备，已不仅仅是在投资某一家公司，而是在投资中国科技自主的“基础设施”与“能力底座”。
从股市也能印证这份共识：半导体设备板块近期表现强势，众多投资者正用真金白银为中国半导体设备的未来投票。今天，芯潮IC就带大家梳理部分核心设备企业及其最新动态，看看谁在真正扛起国产替代的大旗。
前道核心设备
芯片制造的“地基玩家”
01
北方华创
北方华创成立于2001年，股票代码002371，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。主营半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有六大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
中微公司
中微公司创立于2004年，股票代码688012，是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。
拓荆科技
拓荆科技创立于2010年，股票代码688072，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备、次常压化学气相沉积(SACVD)设备、高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)设备、超高深宽比沟槽填充（Flowable CVD）设备和先进键合(W2W / D2W Hybrid Bonding) 设备以及相关量测设备等系列。
华海清科
华海清科创立于2013年，股票代码688120，是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备制造商，公司主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、离子注入装备、边缘抛光装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务、打造“装备+服务"的平台化战略布局。公司主要产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micr LED等制造工艺。
辅助设备
芯片制造的 “细节控”
02
盛美上海
盛美上海成立于2005年，股票代码688082，主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，盛美上海向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案。
至纯科技
至纯科技创立于2000年，股票代码6036902。旗下电子领域专业企业致力于为集成电路及泛半导体产业客户提供制程设备、高纯工艺系统和相关电子材料及专业服务；旗下生物领域企业致力于为生物制药、合成生物等产业提供生物反应、发酵系统、配液系统等核心装备。公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，“立志成为国内领先的工艺装备及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞争。
芯源微
芯源微创立于2002年，股票代码6880373。公司致力于研发制造世界一流集成电路生产设备并提供相关服务，为客户提供专业、精良的设备和创新性的工艺解决方案。公司自主开发的匀胶显影机、喷胶机、清洗机、湿法刻蚀机、去胶机等产品广泛应用于前道芯片制造、后道先进封装、微机电系统、LED照明等领域。
万业企业
万业企业创立于1991年，股票代码6006414。通过“外延并购+产业整合”的双轮驱动战略，万业企业积极布局半导体设备零部件等赛道，专注于自主研发核心设备，致力于开发全系列离子注入机产品。旗下凯世通是国内领先的高端集成电路离子注入机装备企业，处于国内12英寸低能大束流离子注入机的领先地位，持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化进程。
后道 & 检测设备
芯片出厂的 “考官”
03
长川科技
长川科技创立于2008年，股票代码3006045。公司致力于集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司的主要产品是大功率测试机、模拟测试机、数字测试机、重力式分选机、平移式分选机、测编一体机、指纹模组、摄像头模组、晶圆光学外观检测设备、电路封装光学外观检测设备。
华峰测控
华峰测控创立于1993年，股票代码6882006。作为国内最早进入半导体测试设备行业的企业之一，华峰测控始终聚焦于模拟和混合信号测试设备领域。华峰测控凭借产品的高性能、易操作和服务优势等特点，在模拟及数模混合测试设备领域多次打破了国外厂商的垄断地位，产品外销至中国台湾、美国、欧洲、韩国、日本及东南亚等境外半导体产业发达地区。目前已成为国内前三大半导体封测厂商模拟测试领域的主力测试平台供应商。
中科飞测
中科飞测创立于2014年，股票代码6883617。依托多年在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的深耕积累和自主创新，公司得以向集成电路前道制程、先进封装等企业以及相关设备、材料厂商提供关键质量控制设备，助推提升工艺技术，提高良品率，实现降本增效的目标。
精测电子
精测电子创立于2006年，股票代码3005678。通过全栈自研软硬一体“光机电算软”核心技术平台，构建起从精密检测仪器到智能检测设备到行业解决方案的智能检测生态体系。超越检测，实现主动良率管理。目前精测电子总部位于武汉，逐步建立起以美国、日本、韩国和中国（台湾/武汉/上海/北京）四大研发中心和武汉、苏州、上海、常州、深圳、北京、江门七大智造基地的全球化布局。
特色赛道
另辟蹊径的 “隐形冠军”
04
芯碁微装
芯碁微装创立于2015年，股票代码6886309。公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。公司建成超70000平方米的集研发、生产、办公于一体的智能化研发制造基地，牵头起草PCB直接成像设备国家标准并发布，坚持战略创新、技术创新、机制创新和人才创新，用创新和技术创造更多的社会价值和商业价值。
新益昌
新益昌创立于2006年，股票代码688383，公司主要从事LED、半导体、电容器、锂电池等行业智能制造装备的研发、生产和销售，为客户实现智能制造提供先进、稳定的装备及解决方案。此外，公司部分智能制造装备产品核心零部件如驱动器、高精度读数头及直线电机、音圈电机等已经实现自研自产，是国内少有的具备核心零部件自主研发与生产能力的智能制造装备企业。
这些企业，共同构成了中国半导体设备的“英雄图谱”，不仅在突破技术封锁，也在为我们未来的数字生活夯实基础——一个不再因芯片断供而停摆的时代，一个下一代创新者能安心追逐产品梦想的时代。
本文来自微信公众号“芯潮IC”，作者：一休，36氪经授权发布。
