6英寸磷化铟单晶片技术突破的重大意义: 云南鑫耀与九峰山实验室联合实现的6英寸磷化铟单晶片量产突破,标志着我国在化合物半导体领域迈出关键一步。这一进展的核心意义体现在以下方面: 技术自主化:首次在大尺寸磷化铟材料制备上实现从核心装备(如国产MOCVD设备)到关键材料(如衬底和外延生长工艺)的全链路国产化,解决了外延均匀性控制等世界性难题,关键性能指标(如FP激光器波长标准差<1.5nm、PIN探测器迁移率>11000cm²/V·s)达到国际领先水平。这打破了国外技术垄断,奠定了我国半导体产业链的
