1、电子束光刻机：近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。冠石科技、龙图光罩、路维光电 2、冠石科技：公司已形成电子束光刻曝写等一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案。 3、龙图光罩：公司珠海募投项目中的电子束光刻机、检验设备、修补设备本身具备40nm的制程能力，公司通过对EDA软件以及其余制造环节设备进行升级，已完成40nm节点的