今天早盘的新闻显示，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。 做相关掩膜版的冠石科技和龙图光罩已经板了。 腾景科技的“合分束器项目”专为光刻机光学系统定制，是电子束光刻机的核心元组件，可适配电子束光刻机的光路系统，服务于量子芯片的纳米级雕刻需求，已经为“九章二号”量子计算机定制高精度光学元件。 同时其也有CPO概念，，产品覆盖光模块核心元件（如CPO合分束器），作为CPO的低位补涨标的也存在极大性价比。 凑字数。凑字数。